プラズマで生成したイオンを中性化してからウエハに当て、帯電や紫外線によるダメージを抑えて加工する研究段階のエッチング方法はどれか。

正解：B. 中性粒子ビームエッチング

中性粒子ビームエッチングでは、プラズマ中のイオンをグリッドなどを通して中性化し、方向のそろった中性粒子をウエハに当てます。電荷をもたないため帯電によるダメージが起きず、プラズマからの紫外線もさえぎられるため、ダメージに弱い材料や極微細な構造の加工に向くと期待されています。

• A. 化学機械研磨は研磨による平坦化です。
• B. 正しい。中性化した粒子で加工する方法です。
• C. ウェットエッチングは薬液による加工で、ビームは使いません。