Nederlands
Menu

Etsen

Welke methode meet de elektronentemperatuur en dichtheid van een plasma uit de stroom bij variatie van de spanning op een dunne elektrode die in het plasma wordt gestoken?

  1. AVierpuntsmethode
  2. BRöntgendiffractie
  3. CLangmuir-probemethode
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Langmuir-probemethode

Een Langmuir-probe is een kleine elektrode (probe) in het plasma, waarbij de stroom wordt gemeten terwijl de aangelegde spanning wordt gevarieerd. Uit de kromming van de stroom-spanningskarakteristiek volgt de elektronentemperatuur (enkele eV), uit de verzadigingsstroom de elektronen- en ionendichtheid en uit het knikpunt van de curve de plasmapotentiaal. Het is de meest fundamentele diagnosemethode, bedacht door Langmuir in de jaren 1920, maar er moet rekening worden gehouden met het feit dat de probe zelf het plasma verstoort en dat er film op kan neerslaan.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Etsen

  1. Hoe heet de vormafwijking bij droog etsen waarbij op de bodem van een sleuf bij de zijwand dieper wordt geëtst dan in het midden, zodat een smalle sleuf ontstaat?
  2. Als silicium tegelijk wordt blootgesteld aan XeF2-gas en een bundel argonionen, verloopt het etsen veel sneller dan de som van beide afzonderlijk. Welke eigenschap van droog etsen toont dit aan?
  3. Welk verschijnsel treedt op bij plasma-etsen van patronen met hoge aspectverhouding, waarbij elektronen door de zijwand worden tegengehouden, zodat negatieve lading zich ophoopt in het bovenste deel van het patroon en positieve ionen op de bodem worden afgebogen, wat vormafwijkingen en schade veroorzaakt?
  4. Welke etsmethode in onderzoeksfase neutraliseert in plasma gevormde ionen voordat ze de wafer raken, om schade door lading en ultraviolet licht te onderdrukken?
  5. Wat is de belangrijkste reden waarom coatings van bijvoorbeeld yttriumoxide (Y2O3) worden gebruikt op de binnenwand en onderdelen van plasma-etsapparatuur?

Vergelijkingen bij dit onderwerp