エッチング

プラズマに細い電極を差し込み、電圧を変えたときの電流からプラズマの電子温度や密度を測る方法はどれか。

  1. A四探針法
  2. BX線回折
  3. Cラングミュアプローブ法
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正解：C. ラングミュアプローブ法

ラングミュアプローブは、プラズマ中に小さな電極(プローブ)を入れ、加える電圧を変えながら流れる電流を測ります。その電流-電圧特性から、電子温度、電子密度、プラズマ電位などを求められ、プラズマの状態の評価に使われます。

  • A. 四探針法は膜やウエハの抵抗率を測る方法です。
  • B. X線回折は結晶構造を調べる方法です。
  • C. 正しい。プローブの電流-電圧特性からプラズマを評価します。
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