플라즈마에 가는 전극을 꽂고 전압을 바꿨을 때의 전류로부터 플라즈마의 전자 온도나 밀도를 측정하는 방법은?

정답: C. 랭뮤어 프로브법

랭뮤어 프로브는 플라즈마 속에 작은 전극(프로브)을 넣고, 가하는 전압을 바꾸면서 흐르는 전류를 측정합니다. 전류-전압 특성의 휘어짐으로부터 전자 온도(수 eV), 포화 전류로부터 전자 밀도와 이온 밀도, 곡선의 꺾이는 점으로부터 플라즈마 전위 등을 구할 수 있습니다. 1920년대에 랭뮤어가 고안한 가장 기본적인 진단법이지만, 프로브 자체가 플라즈마를 교란하거나 막이 붙는 점에 주의가 필요합니다.

• A. 4탐침법은 막이나 웨이퍼의 저항률을 측정하는 방법입니다.
• B. X선 회절은 결정 구조를 조사하는 방법입니다.
• C. 맞습니다. 프로브의 전류-전압 특성으로 플라즈마를 평가합니다.