將細電極插入電漿中，從改變電壓時的電流來量測電漿的電子溫度與密度的方法是下列何者？

正確答案：C. 朗繆爾探針法

朗繆爾探針是將小電極（探針）放入電漿中，一邊改變所施加的電壓一邊量測流過的電流。可從電流-電壓特性的彎曲程度求得電子溫度（數eV），從飽和電流求得電子密度與離子密度，從曲線的轉折點求得電漿電位等。這是1920年代由朗繆爾所提出、最基本的診斷方法，但需注意探針本身會擾動電漿，或附著膜層。

• A. 四點探針法是量測膜或晶圓電阻率的方法。
• B. X光繞射是檢測晶體結構的方法。
• C. 正確。由探針的電流-電壓特性來評估電漿。