Ätzen

Welches Verfahren misst Elektronentemperatur und -dichte des Plasmas aus dem Strom bei veränderter Spannung einer in das Plasma eingeführten dünnen Elektrode?

  1. AVierspitzenmethode
  2. BRöntgenbeugung
  3. CLangmuir-Sonde
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Antwort: C. Langmuir-Sonde

Bei der Langmuir-Sonde wird eine kleine Elektrode (Sonde) in das Plasma eingebracht und der bei veränderter angelegter Spannung fließende Strom gemessen. Aus der Krümmung der Strom-Spannungs-Kennlinie lässt sich die Elektronentemperatur (einige eV), aus dem Sättigungsstrom Elektronen- und Ionendichte und aus dem Knick der Kurve das Plasmapotenzial bestimmen. Es ist die grundlegendste, in den 1920er-Jahren von Langmuir entwickelte Diagnosemethode, doch ist zu beachten, dass die Sonde selbst das Plasma stören kann und sich Schichten auf ihr abscheiden.

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