Nederlands
Menu

Etsen

Welk effect van het toevoegen van een beetje zuurstof aan etsen met fluorhoudende gassen is in het algemeen juist?

  1. AHet etsen stopt volledig
  2. BDe selectiviteit ten opzichte van het masker wordt altijd hoger
  3. CDe afzetting van polymeer op onder meer de zijwanden neemt af en ook de resist wordt sneller aangetast
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. De afzetting van polymeer op onder meer de zijwanden neemt af en ook de resist wordt sneller aangetast

Zuurstof verbrandt koolstofhoudend polymeer en verwijdert het als CO en CO2, zodat de afzetting op zijwanden en oppervlak afneemt. Ook bindt het zich aan koolstof uit fluorkoolstoffen, waardoor het aantal fluorradicalen toeneemt en het etsen gemakkelijker verloopt. Daar staat tegenover dat ook de resist door zuurstof gemakkelijker wordt aangetast, zodat de selectiviteit ten opzichte van het masker de neiging heeft af te nemen. De toegevoegde hoeveelheid wordt per paar procenten bijgesteld om vorm en selectiviteit in balans te brengen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Etsen

  1. Welke uitspraak over de verhouding tussen het aantal ionen en radicalen in een gangbaar plasma voor etsen is juist?
  2. Welke methode meet de elektronentemperatuur en dichtheid van een plasma uit de stroom bij variatie van de spanning op een dunne elektrode die in het plasma wordt gestoken?
  3. Hoe heet de vormafwijking bij droog etsen waarbij op de bodem van een sleuf bij de zijwand dieper wordt geëtst dan in het midden, zodat een smalle sleuf ontstaat?
  4. Als silicium tegelijk wordt blootgesteld aan XeF2-gas en een bundel argonionen, verloopt het etsen veel sneller dan de som van beide afzonderlijk. Welke eigenschap van droog etsen toont dit aan?
  5. Welk verschijnsel treedt op bij plasma-etsen van patronen met hoge aspectverhouding, waarbij elektronen door de zijwand worden tegengehouden, zodat negatieve lading zich ophoopt in het bovenste deel van het patroon en positieve ionen op de bodem worden afgebogen, wat vormafwijkingen en schade veroorzaakt?

Vergelijkingen bij dit onderwerp