在氟系氣體的蝕刻中加入少量氧氣時，一般而言下列效果何者正確？

正確答案：C. 側壁等處的聚合物沉積減少，光阻的蝕除也變快

氧氣會燃燒含碳的聚合物，以CO或CO2的形式去除，因此側壁與表面的沉積減少。此外，氧與氟碳化物的碳結合，使氟自由基增加，蝕刻因而更容易進行。另一方面，光阻也變得容易被氧蝕除，所以對遮罩的選擇比有下降的傾向。藉由以數%為單位調整添加量，來取得形狀與選擇比的平衡。

• A. 少量氧氣不會使蝕刻停止。
• B. 由於光阻變得容易被蝕除，選擇比反而有下降的傾向。
• C. 正確。聚合物減少，光阻的蝕除也變快。