식각
불소계 가스에 의한 식각에 산소를 조금 첨가했을 때의 효과로 일반적으로 올바른 것은?
- A식각이 완전히 멈춘다
- B마스크에 대한 선택비가 반드시 높아진다
- C측벽 등의 폴리머 퇴적이 줄고 레지스트의 깎임도 빨라진다
정답과 해설 보기
정답: C. 측벽 등의 폴리머 퇴적이 줄고 레지스트의 깎임도 빨라진다
산소는 탄소를 포함한 폴리머를 태워 CO나 CO2로 제거하므로 측벽이나 표면에 대한 퇴적이 줄어듭니다. 또한 플루오로카본의 탄소와 결합하여 불소 라디칼을 늘리기 때문에 식각이 진행되기 쉬워집니다. 한편 레지스트도 산소에 깎이기 쉬워지므로 마스크에 대한 선택비는 낮아지는 경향이 있습니다. 첨가량을 수 % 단위로 조정하여 형상과 선택비의 균형을 맞춥니다.
- A. 소량의 산소로 식각이 멈추는 일은 없습니다.
- B. 레지스트가 깎이기 쉬워지므로 선택비는 오히려 낮아지는 경향이 있습니다.
- C. 맞습니다. 폴리머가 줄고 레지스트의 깎임도 빨라집니다.