フッ素系ガスによるエッチングに酸素を少し加えたときの効果として一般的に正しいものはどれか。

正解：C. 側壁などのポリマーの堆積が減り、レジストの削れも速くなる

酸素は炭素を含むポリマーを燃やして取り除くため、側壁や表面への堆積が減り、フッ素ラジカルも増えてエッチングが進みやすくなります。一方、レジストも酸素で削られやすくなるため、マスクに対する選択比は下がる傾向があります。添加量で形状と選択比のバランスを調整します。

• A. 少量の酸素でエッチングが止まることはありません。
• B. レジストが削られやすくなるため、選択比はむしろ下がる傾向があります。
• C. 正しい。ポリマーが減り、レジストの削れも速くなります。