Ätzen

Welche Wirkung hat ein geringer Sauerstoffzusatz zum Ätzen mit fluorhaltigen Gasen im Allgemeinen?

  1. ADas Ätzen kommt völlig zum Stillstand
  2. BDie Selektivität zur Maske wird stets höher
  3. CDie Polymerabscheidung an Seitenwänden u. Ä. nimmt ab, und auch der Resistabtrag wird schneller
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Antwort: C. Die Polymerabscheidung an Seitenwänden u. Ä. nimmt ab, und auch der Resistabtrag wird schneller

Sauerstoff verbrennt kohlenstoffhaltige Polymere und entfernt sie als CO und CO2, sodass die Abscheidung an Seitenwänden und Oberflächen abnimmt. Zudem bindet er den Kohlenstoff der Fluorkohlenstoffe und erhöht die Zahl der Fluorradikale, sodass das Ätzen leichter voranschreitet. Andererseits wird auch der Resist durch Sauerstoff leichter abgetragen, weshalb die Selektivität zur Maske tendenziell sinkt. Die Zugabemenge wird im Bereich einiger % so eingestellt, dass Form und Selektivität im Gleichgewicht stehen.

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