식각
용량 결합형 등의 플라즈마 장치에서 웨이퍼 쪽 전극이 자연스럽게 음의 직류 전위를 갖게 되어 이온을 웨이퍼 방향으로 가속하는 현상을 무엇이라고 부르는가?
- A홀 효과
- B제벡 효과
- C셀프 바이어스(자기 바이어스)
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정답: C. 셀프 바이어스(자기 바이어스)
고주파 전력을 가한 전극에서는 가볍고 움직이기 쉬운 전자가 이온보다 더 많이 흘러들기 때문에, 커패시터를 통해 연결된 전극은 평균적으로 음의 직류 전위(셀프 바이어스, 수십~수백 V)를 갖게 됩니다. 이 전위차로 플라즈마 속의 양이온이 웨이퍼를 향해 거의 수직으로 가속되며, 이방성 식각에 사용됩니다. 고주파 전력을 바꾸면 셀프 바이어스가 바뀌어 이온의 에너지를 조정할 수 있습니다.
- A. 홀 효과는 자기장 속에서 전류와 직각 방향으로 전압이 생기는 현상입니다.
- B. 제벡 효과는 온도차로 전압이 생기는 현상입니다.
- C. 맞습니다. 전자 유입량의 차이로 음의 전위가 생기는 현상입니다.