Wie heißt das Phänomen, bei dem in kapazitiv gekoppelten Plasmaanlagen u. Ä. die Elektrode auf der Waferseite von selbst ein negatives Gleichspannungspotenzial annimmt und Ionen zum Wafer beschleunigt?

Antwort: C. Self-Bias (Selbstvorspannung)

An einer mit Hochfrequenzleistung beaufschlagten Elektrode fließen die leichteren, beweglicheren Elektronen in größerer Zahl zu als Ionen, sodass die über einen Kondensator angeschlossene Elektrode im Mittel ein negatives Gleichspannungspotenzial (Self-Bias, einige zehn bis einige hundert V) annimmt. Durch diese Potenzialdifferenz werden positive Ionen des Plasmas annähernd senkrecht zum Wafer beschleunigt und für anisotropes Ätzen genutzt. Ändert man die Hochfrequenzleistung, ändert sich der Self-Bias, und die Ionenenergie lässt sich einstellen.