식각

건식 식각 후에 패턴 측벽 등에 남은 반응 생성물(폴리머)을 제거하는 이유로 올바른 것은?

  1. A다음 공정에서의 불량이나 전기적 특성의 열화를 막기 위해
  2. B웨이퍼의 색을 바꾸기 위해
  3. C웨이퍼를 무겁게 하기 위해
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정답: A. 다음 공정에서의 불량이나 전기적 특성의 열화를 막기 위해

식각 시 측벽에 붙은 보호막 등의 폴리머가 남아 있으면 다음 성막의 밀착성이 나빠지거나, 컨택트의 저항이 올라가거나, 염소를 포함한 잔사가 알루미늄 배선을 부식시키기도 합니다. 그래서 애싱이나 유기계·불소계 약액에 의한 세정으로 꼼꼼히 제거합니다. 다만 첨단 배선에서는 약액이 Low-k막이나 가는 금속을 손상시키지 않도록 제거 강도와 재료 손상의 균형이 중요합니다.

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