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Gravure

Quel est le rôle de la gravure dans la fabrication des semi-conducteurs ?

  1. ARetirer le film des zones non couvertes par un masque comme la résine afin de former les motifs
  2. BFaire diffuser les dopants
  3. CDéposer des films sur la plaquette
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Réponse : A. Retirer le film des zones non couvertes par un masque comme la résine afin de former les motifs

La gravure est l'étape qui, en utilisant comme masque notamment les motifs de résine réalisés par lithographie, retire par réaction chimique ou bombardement ionique le film ou le substrat des zones non couvertes pour former les motifs du circuit. Elle doit reproduire fidèlement la largeur des traits de résine dans le film sous-jacent ; dans les produits avancés, la variation de dimension est limitée à environ 1 nm ou moins. Associée à la lithographie, elle est répétée plusieurs dizaines de fois dans la fabrication d'un LSI.

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