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Gravure

Avec une vitesse de gravure de 100 nm/min, quelle épaisseur de film est gravée en 3 minutes ?

  1. AEnviron 3000 nm
  2. BEnviron 33 nm
  3. CEnviron 300 nm
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Réponse : C. Environ 300 nm

L'épaisseur gravée vaut « vitesse de gravure × durée », soit 100 nm/min × 3 min = 300 nm. En pratique, compte tenu des dispersions d'épaisseur et de vitesse, on poursuit légèrement la gravure après la détection de fin d'attaque (surgravure). Inversement, graver un film de 500 nm demande 5 minutes, et environ 6 minutes avec 20 % de surgravure. Les équipements combinent cette durée et la détection de fin d'attaque.

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