식각

산화막의 식각 속도가 100 nm/min, 마스크가 깎이는 속도가 20 nm/min일 때, 마스크에 대한 선택비는 얼마인가?

  1. A0.2
  2. B5
  3. C80
정답과 해설 보기

정답: B. 5

선택비는 「식각하려는 막의 속도 ÷ 마스크(또는 하지)의 속도」로, 100 ÷ 20 = 5입니다. 산화막을 500 nm 식각하면 마스크는 100 nm 깎이므로, 오버 식각이나 형상 붕괴를 감안하여 마스크는 최소 150~200 nm 정도의 두께가 필요합니다. 선택비가 부족한 경우에는 마스크를 두껍게 하거나 하드 마스크로 전환합니다.

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