Wie groß ist die Selektivität zur Maske, wenn die Ätzrate des Oxids 100 nm/min und die Abtragsrate der Maske 20 nm/min beträgt?

Antwort: B. 5

Die Selektivität ist „Rate der zu ätzenden Schicht ÷ Rate der Maske (oder Unterlage)“, also 100 ÷ 20 = 5. Wird das Oxid um 500 nm geätzt, wird die Maske um 100 nm abgetragen; unter Berücksichtigung von Überätzen und Formabweichungen muss die Maske mindestens etwa 150 bis 200 nm dick sein. Reicht die Selektivität nicht aus, wird die Maske dicker gemacht oder auf eine Hartmaske umgestellt.