Hoe heet het verschijnsel dat bij plasma-etsen een geleider zoals een lange bedrading als antenne fungeert, lading verzamelt en daarmee het aangesloten gateoxide beschadigt?

Antwoord: C. Antenne-effect (plasma-chargingschade)

Aan plasma blootgestelde bedrading en gate-elektroden verzamelen lading, en als die als tunnelstroom door het dunne oxide van de aangesloten gate vloeit, degradeert of breekt het oxide. Hoe groter de oppervlakte van de geleider (antenne), hoe meer lading er wordt verzameld en hoe groter het effect. In de layout gelden daarom antenneregels die de verhouding tussen bedradingsoppervlak en gateoppervlak beperken, en op plaatsen die ze overtreden worden beschermende diodes geplaatst om de lading af te voeren of wordt de bedradingslaag gewijzigd.