플라즈마 식각 중에 긴 배선 등 안테나 역할을 하는 도체가 전하를 모아, 연결된 게이트 산화막을 손상시키는 현상을 무엇이라고 부르는가?

정답: C. 안테나 효과(플라즈마 차징 손상)

플라즈마에 노출된 배선이나 게이트 전극은 전하를 모으고, 이것이 연결된 게이트의 얇은 산화막에 터널 전류로 흐르면 산화막이 열화되거나 파괴됩니다. 도체의 면적(안테나)이 클수록 모이는 전하가 많아 영향이 크기 때문에, 레이아웃에서는 배선 면적과 게이트 면적의 비를 제한하는 안테나 룰을 두며, 위반하는 곳에는 전하를 빼내는 보호 다이오드를 넣거나 배선층을 바꿉니다.