Wie heißt das Phänomen, bei dem beim Plasmaätzen ein als Antenne wirkender Leiter wie eine lange Leitbahn Ladung sammelt und das angeschlossene Gateoxid schädigt?

Antwort: C. Antenneneffekt (Plasma Charging Damage)

Dem Plasma ausgesetzte Leitbahnen und Gate-Elektroden sammeln Ladung; fließt diese als Tunnelstrom durch das dünne Oxid des angeschlossenen Gates, wird das Oxid geschädigt oder zerstört. Je größer die Leiterfläche (Antenne), desto mehr Ladung sammelt sich und desto größer ist der Einfluss; daher gibt es im Layout Antennenregeln, die das Verhältnis von Leitbahnfläche zu Gatefläche begrenzen, und bei Verstößen werden Schutzdioden zum Ableiten der Ladung eingefügt oder die Verdrahtungslage gewechselt.