식각
반응성 이온 식각(RIE)에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A반응성 가스의 플라즈마 속에서 화학 반응과 이온 충격을 조합하여 식각한다
- B약액에 웨이퍼를 담가 식각한다
- C연마 패드로 웨이퍼 표면을 깎는다
정답과 해설 보기
정답: A. 반응성 가스의 플라즈마 속에서 화학 반응과 이온 충격을 조합하여 식각한다
RIE는 반응성 가스(불소계, 염소계 등)의 플라즈마로 만든 라디칼에 의한 화학 반응과, 전계로 가속한 이온의 충격을 조합한 건식 식각입니다. 이온이 웨이퍼에 수직으로 입사하여 바닥면의 반응을 촉진하므로 세로 방향의 식각이 진행되기 쉬워 이방성이 높은 가공이 가능합니다. 이름과 달리 이온만으로 깎는 것이 아니라 라디칼과의 상승 효과가 본질입니다.