ウェットエッチングの一般的な特徴として正しいものはどれか。

正解：B. 一般に等方的に進み、マスクの下にも回り込みやすい

ウェットエッチングは薬液による化学反応で膜を溶かすため、一般にすべての方向へ同じように進み(等方性)、マスクの下にも回り込みます(サイドエッチ)。装置が簡単で選択比を高くしやすい利点がありますが、微細パターンの加工にはドライエッチングが使われます。