식각

습식 식각의 일반적인 특징으로 올바른 것은?

  1. A플라즈마를 사용하기 때문에 이방성이 높다
  2. B일반적으로 등방적으로 진행되며 마스크 아래로도 파고들기 쉽다
  3. C진공 장치가 필수이다
정답과 해설 보기

정답: B. 일반적으로 등방적으로 진행되며 마스크 아래로도 파고들기 쉽다

습식 식각은 약액의 화학 반응으로 막을 녹이기 때문에 일반적으로 모든 방향으로 똑같이 진행되며(등방성), 마스크 아래로도 막 두께와 비슷한 정도로 파고듭니다(사이드 식각). 장치가 간단하고 많은 장수를 한 번에 처리할 수 있으며, 화학 반응이므로 선택비를 높이기 쉽다는 장점이 있습니다. 미세 패턴 형성에는 건식 식각이 사용되지만, 막의 전면 제거나 세정에서는 지금도 중요합니다.

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