エッチングにおける「選択比」の説明として正しいものはどれか。

正解：C. エッチングしたい膜と、マスクや下地膜とのエッチング速度の比

選択比は、削りたい膜のエッチング速度と、削りたくない膜(マスクや下地)のエッチング速度の比です。選択比が高いほど、マスクや下地をあまり削らずに目的の膜だけを加工できます。ウエハ面内の速度のばらつきは「均一性」と呼びます。