關於蝕刻中的「選擇比」，下列說明何者正確？

正確答案：C. 欲蝕刻的膜與遮罩或底層膜的蝕刻速率之比

選擇比是想要蝕除的膜之蝕刻速率，與不想蝕除的膜（遮罩或底層）之蝕刻速率的比值。例如在閘極蝕刻中，為了保留厚度僅數nm的閘極絕緣膜，有時會要求對底層達到100以上的選擇比。選擇比越高，遮罩就可以越薄，底層也不會受損。晶圓面內的速率變異則稱為「均勻性」。