식각에서 「선택비」에 대한 설명으로 올바른 것은?

정답: C. 식각하려는 막과 마스크나 하지막의 식각 속도 비

선택비는 깎고 싶은 막의 식각 속도와 깎고 싶지 않은 막(마스크나 하지)의 식각 속도의 비입니다. 예를 들어 게이트 식각에서는 두께 수 nm의 게이트 절연막을 남겨야 하므로 하지에 대해 100 이상의 선택비가 요구되기도 합니다. 선택비가 높을수록 마스크를 얇게 할 수 있고 하지도 손상되지 않습니다. 웨이퍼 면내 속도의 편차는 「균일도」라고 부릅니다.