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Croissance épitaxiale

Quel polytype est principalement utilisé pour les composants de puissance SiC ?

  1. A4H-SiC
  2. B3C-SiC
  3. C15R-SiC
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Réponse : A. 4H-SiC

Le SiC compte plus de 200 polytypes, mais les composants de puissance utilisent principalement le 4H-SiC, en raison de sa large bande interdite (environ 3,26 eV), de sa mobilité électronique élevée (environ 1000 cm²/V·s) et de sa faible anisotropie. Le 6H-SiC présente une forte anisotropie de mobilité et le 3C-SiC une bande interdite plus faible (environ 2,4 eV). La maturité des technologies de substrats de qualité et de croissance épitaxiale en est une autre raison.

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