Welcher Kristallpolytyp wird hauptsächlich für SiC-Leistungsbauelemente verwendet?

Antwort: A. 4H-SiC

SiC hat über 200 Kristallpolytypen, für Leistungsbauelemente wird jedoch hauptsächlich 4H-SiC verwendet. Es hat eine große Bandlücke von etwa 3,26 eV, eine hohe Elektronenbeweglichkeit von etwa 1000 cm²/V·s und eine geringe Richtungsabhängigkeit (Anisotropie). 6H-SiC hat eine große Anisotropie der Beweglichkeit, und 3C-SiC hat mit etwa 2,4 eV eine eher kleine Bandlücke. Ein weiterer Grund ist, dass Technologien für hochwertige Substrate und epitaktisches Wachstum etabliert sind.