박막 증착(CVD와 PVD)
스퍼터 장비에서 타깃과 웨이퍼 사이에 다수의 구멍이 있는 판(콜리메이터)을 두는 목적은?
- A비스듬히 날아오는 원자를 차단하고 수직에 가까운 원자만 통과시켜 홀 바닥까지 막이 형성되기 쉽게 하기 위해
- B성막 속도를 높이기 위해
- C웨이퍼를 냉각하기 위해
정답과 해설 보기
정답: A. 비스듬히 날아오는 원자를 차단하고 수직에 가까운 원자만 통과시켜 홀 바닥까지 막이 형성되기 쉽게 하기 위해
콜리메이터는 벌집처럼 구멍이 뚫린 판(구멍의 길이와 직경 비가 1~2 정도)으로, 비스듬히 날아오는 스퍼터 원자를 차단하고 웨이퍼에 거의 수직으로 향하는 원자만 통과시킵니다. 이로써 깊은 홀 바닥에 막이 형성되는 정도(바텀 커버리지)가 개선됩니다. 다만 콜리메이터에도 막이 쌓이므로 성막 속도가 떨어지고, 쌓인 막이 벗겨져 파티클이 되는 문제도 있어 현재는 이온화 스퍼터가 주류입니다.