CMP et nettoyage

Lors de l'élimination des particules de surface par nettoyage, quelle relation générale entre taille des particules et facilité d'élimination est correcte ?

  1. APlus une particule est petite, plus sa force d'adhérence est relativement forte par rapport à son poids et aux forces de l'écoulement, et plus elle est difficile à éliminer
  2. BLa taille des particules n'a pas d'influence
  3. CLes petites particules sont plus faciles à éliminer
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Réponse : A. Plus une particule est petite, plus sa force d'adhérence est relativement forte par rapport à son poids et aux forces de l'écoulement, et plus elle est difficile à éliminer

Les forces d'adhérence qui retiennent les particules à la surface, comme les forces de van der Waals, sont à peu près proportionnelles au diamètre, alors que la force exercée par l'écoulement du liquide diminue avec le carré du diamètre et la gravité avec son cube. Plus une particule est petite, plus l'adhérence est relativement forte et plus elle est difficile à éliminer ; une particule de 10 nm est ainsi bien plus difficile à retirer qu'une de 100 nm. La taille des particules gênantes diminuant avec la miniaturisation, le nettoyage devient de plus en plus difficile.

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