Welcher Zusammenhang zwischen Partikelgröße und Entfernbarkeit gilt allgemein beim Entfernen von Partikeln von der Waferoberfläche in der Reinigung?

Antwort: A. Je kleiner das Partikel, desto stärker ist die Haftkraft relativ zu Gewicht und Strömungskraft, und desto schwerer ist es zu entfernen

Haftkräfte wie die Van-der-Waals-Kraft, die Partikel an die Oberfläche binden, sind etwa proportional zum Partikeldurchmesser, während die von der Flüssigkeitsströmung ausgeübte Kraft mit dem Quadrat und die Schwerkraft mit der dritten Potenz des Durchmessers kleiner werden. Daher wird die Haftkraft bei kleineren Partikeln relativ stärker und die Entfernung schwieriger; ein Partikel von 10 nm ist beispielsweise weit schwerer zu entfernen als eines von 100 nm. Mit der Miniaturisierung werden die relevanten Partikel kleiner, und die Reinigung wird zunehmend schwieriger.