Welk verband tussen deeltjesgrootte en gemakkelijke verwijdering is in het algemeen juist bij het verwijderen van deeltjes van het waferoppervlak door reiniging?

Antwoord: A. Hoe kleiner het deeltje, des te sterker is de hechtkracht relatief ten opzichte van gewicht en kracht van de stroming, en des te moeilijker het te verwijderen is

De hechtkracht waarmee deeltjes door onder meer van-der-Waalskrachten aan het oppervlak worden getrokken is vrijwel evenredig met de deeltjesdiameter, terwijl de kracht van een vloeistofstroom evenredig is met het kwadraat en de zwaartekracht met de derde macht van de diameter, die dus kleiner worden. Kleinere deeltjes hebben daardoor een relatief sterkere hechtkracht en zijn moeilijker te verwijderen; een deeltje van 10 nm is bijvoorbeeld veel moeilijker te verwijderen dan een van 100 nm. Naarmate de relevante deeltjes door verkleining kleiner worden, wordt reiniging moeilijker.