CMP et nettoyage
À quoi faut-il prendre garde avec le nettoyage par lots, où de nombreuses plaquettes sont immergées dans un même bain ?
- ALa contamination dissoute ou détachée d'une plaquette peut passer aux autres par le liquide (contamination croisée)
- BIl ne traite qu'une plaquette à la fois
- CIl n'utilise aucun produit chimique
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Réponse : A. La contamination dissoute ou détachée d'une plaquette peut passer aux autres par le liquide (contamination croisée)
Le nettoyage par lots traite environ 50 plaquettes dans le même bain, d'où un débit élevé, mais la contamination issue d'une plaquette (métaux, particules, résidus de résine) peut se répandre dans le liquide et se déposer sur les autres. La fréquence de renouvellement du liquide, la recirculation avec filtration et la maîtrise des concentrations sont donc importantes ; pour les étapes sensibles à la contamination ou celles où les conditions varient par plaquette, on utilise le monoplaquette.