La température du tampon de polissage augmente au fil du CMP. Quelle évolution de la vitesse de polissage est généralement correcte ?

Réponse : B. La vitesse de polissage tend à augmenter, notamment parce que les réactions chimiques s'accélèrent, ce qui est aussi une source de non-uniformité

Lorsque le frottement porte la température du tampon et de la suspension à quelques dizaines de ℃, les réactions chimiques de la suspension s'accélèrent (loi d'Arrhenius) et la vitesse de polissage tend à augmenter. Une différence de température entre centre et périphérie de la plaquette disperse l'enlèvement, et une différence entre la première et les suivantes crée une dispersion d'une plaquette à l'autre. On utilise donc des techniques de régulation de la température du tampon par gaz ou échangeur thermique, ou des corrections de conditions anticipant les variations de température.