洗浄でウエハ表面のパーティクルを取り除くとき、粒子の大きさと除去のしやすさの関係として一般的に正しいものはどれか。

正解：A. 粒子が小さいほど、重さや受ける流れの力に比べて付着力が相対的に強くなり、除去しにくい

パーティクルを表面に引き付けるファンデルワールス力などの付着力は粒径にほぼ比例しますが、液の流れや超音波から受ける力は粒径の2乗や3乗に比例して小さくなります。そのため、小さい粒子ほど除去しにくくなり、微細化とともに洗浄の難しさが増しています。

• A. 正しい。小さい粒子ほど付着力が相対的に強くなります。
• B. 粒子の大きさは除去のしやすさに大きく影響します。
• C. 小さい粒子ほど除去は難しくなります。