Quel est le principal objectif d'un filtre placé sur la conduite d'alimentation en suspension de l'équipement de CMP ?

Réponse : B. Éliminer notamment les grosses particules agglomérées pour éviter les rayures sur la plaquette

Les particules abrasives de la suspension peuvent s'agglomérer en gros amas sous l'effet des variations de température pendant le stockage, du cisaillement dans les conduites ou du séchage, et rayer la plaquette. La ligne d'alimentation comporte, par exemple après pompes et réservoirs et juste avant l'équipement, des filtres d'un diamètre de pores de quelques µm qui ne retiennent que les grosses particules et laissent passer les particules abrasives de taille utile. Le colmatage modifiant le débit, la gestion des remplacements est aussi importante.