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CMP et nettoyage

Quelle méthode est couramment utilisée pour compter les particules à la surface d'une plaquette après nettoyage ?

  1. APeser la plaquette
  2. BBalayer la surface de la plaquette par un faisceau laser et détecter la lumière diffusée par les particules
  3. CCasser la plaquette et observer la section
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Réponse : B. Balayer la surface de la plaquette par un faisceau laser et détecter la lumière diffusée par les particules

L'équipement d'inspection des particules (inspection de surface) balaie avec un faisceau laser la plaquette en rotation et détecte la lumière diffusée par les particules ou défauts pour déterminer leur position et leur taille (intensité diffusée ramenée à des particules étalons). Les équipements récents détectent des particules de 20 nm ou moins. Il sert à évaluer la propreté du nettoyage et des équipements sur plaquettes sans motifs ; l'inspection des défauts sur plaquettes à motifs relève d'autres équipements, par comparaison d'images.

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