在清洗中去除晶圓表面微粒時，下列關於粒徑與去除難易度之關係的一般敘述，何者正確？

正確答案：A. 粒子愈小，相對於其重量與所受流體作用力，附著力相對愈強，愈難去除

使微粒被吸附在表面的凡得瓦力等附著力大致與粒徑成正比，但從液體流動所受的力隨粒徑的平方、重力隨粒徑的立方而減小。因此粒子愈小，附著力相對愈強而愈難去除，例如10 nm的粒子就比100 nm的粒子難去除得多。隨著微縮使成為問題的粒子愈來愈小，清洗的難度也隨之增加。

• A. 正確。粒子愈小，附著力相對愈強。
• B. 粒徑大小對去除難易度有很大影響。
• C. 愈小的粒子愈難去除。