CMP・洗浄
近年の洗浄工程で、薬液を希釈して使ったり、機能水を使ったりする主な目的はどれか。
- A薬液の使用量と環境への負荷を減らすため
- B洗浄力を必ず強くするため
- Cウエハの色を変えるため
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正解:A. 薬液の使用量と環境への負荷を減らすため
従来の洗浄では濃い薬液を大量に使っていましたが、薬液を希釈したり、オゾン水や水素水などの機能水を使ったりすることで、薬液と純水の使用量や廃液を減らしながら、必要な洗浄効果を得る工夫が進められています。
CMP・洗浄
正解:A. 薬液の使用量と環境への負荷を減らすため
従来の洗浄では濃い薬液を大量に使っていましたが、薬液を希釈したり、オゾン水や水素水などの機能水を使ったりすることで、薬液と純水の使用量や廃液を減らしながら、必要な洗浄効果を得る工夫が進められています。