CMP와 세정

고종횡비 패턴을 세정·건조할 때 패턴 쓰러짐이 일어나는 주된 원인은?

  1. A패턴에 작용하는 중력
  2. B패턴 사이에 남은 액체가 마를 때의 표면장력
  3. C세정액의 색
정답과 해설 보기

정답: B. 패턴 사이에 남은 액체가 마를 때의 표면장력

가늘고 높은 패턴 사이에 액체가 남은 채 건조되면 액면의 표면장력에 의한 라플라스 압력으로 패턴끼리 끌려 들어가 쓰러지거나 달라붙습니다. 이 힘은 간격이 좁을수록, 종횡비가 높을수록 커집니다. 표면장력이 작은 IPA로의 치환, 표면의 발수화 처리(접촉각을 90°에 가깝게 함), 액체와 기체의 경계가 생기지 않는 초임계 CO2 건조 등의 대책이 이용됩니다.

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