CMP en reiniging
Wat is de belangrijkste oorzaak van het omvallen van patronen bij het reinigen en drogen van patronen met een hoge aspectverhouding?
- ADe zwaartekracht op de patronen
- BDe oppervlaktespanning bij het drogen van vloeistof die tussen de patronen is achtergebleven
- CDe kleur van de reinigingsvloeistof
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. De oppervlaktespanning bij het drogen van vloeistof die tussen de patronen is achtergebleven
Als vloeistof tussen smalle, hoge patronen blijft zitten en droogt, trekt de Laplace-druk door de oppervlaktespanning van het vloeistofoppervlak de patronen naar elkaar toe, waardoor ze omvallen of aan elkaar kleven. De kracht is groter naarmate de tussenruimte kleiner en de aspectverhouding groter is. Als maatregelen worden toegepast: vervanging door IPA met een kleine oppervlaktespanning, het hydrofoob maken van het oppervlak (de contacthoek richting 90° brengen) en drogen met superkritisch CO2, waarbij geen grens tussen vloeistof en gas ontstaat.