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Packaging avancé (3D et chiplets)

Dans le collage hybride cuivre-isolant, quelle description du mécanisme d'assemblage des électrodes en cuivre est correcte ?

  1. ALa brasure est fondue pour relier les cuivres
  2. BLes cuivres sont collés par un adhésif
  3. CLes films isolants sont d'abord collés entre eux, puis le chauffage dilate le cuivre, qui entre en contact intime et se lie par diffusion
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Réponse : C. Les films isolants sont d'abord collés entre eux, puis le chauffage dilate le cuivre, qui entre en contact intime et se lie par diffusion

En collage hybride, les surfaces de film isolant (oxyde, etc.) aplanies et activées, par exemple par plasma, sont collées vers la température ambiante, puis un recuit (chauffage) renforce la liaison entre isolants. Les électrodes en cuivre sont légèrement en retrait, de quelques nm ; la dilatation thermique au chauffage les presse l'une contre l'autre et la diffusion atomique les unit. L'absence de brasure et d'adhésif en est la caractéristique.

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