구리와 절연막에 의한 하이브리드 본딩에서 구리 전극끼리 접합되는 원리로 올바른 설명은?

정답: C. 먼저 절연막끼리 접합하고, 이후의 가열로 구리가 팽창하여 구리끼리 밀착되고 확산되어 접합된다

하이브리드 본딩에서는 평탄화하고 플라즈마 등으로 활성화한 절연막(산화막 등)의 면끼리를 상온 부근에서 접합하고, 이후 어닐링(가열)으로 절연막 간 결합을 강화합니다. 구리 전극은 수 nm만 오목하게 해 두고, 가열에 의한 열팽창으로 구리끼리 눌려 밀착되며 원자 확산으로 일체화됩니다. 솔더나 접착제를 사용하지 않는 것이 특징입니다.

• A. 솔더를 사용하지 않는 것이 하이브리드 본딩의 특징입니다.
• B. 접착제는 사용하지 않습니다.
• C. 올바르다. 절연막의 접합과 가열에 의한 구리의 팽창을 조합합니다.