Was ist Slip (Gleitung)?

Defekt, bei dem sich Kristallebenen verschieben und Versetzungen entstehen, durch Spannungen aus Temperaturunterschieden oder dem Eigengewicht des Wafers bei Hochtemperaturprozessen großer Wafer. Er kann z. B. Overlay-Fehler verursachen.

Japanische Bezeichnung: スリップ

Fachgebiet: Siliziumwafer

Verwandte Begriffe

Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) Kristallorientierung MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD)

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