Was ist Kristallorientierung?

Die Richtung von Kristallebenen und -achsen, ausgedrückt mit Millerschen Indizes wie (100). Die (100)-Oberfläche ist der Standard für Siliziumwafer für MOSFETs.

Japanische Bezeichnung: 結晶方位

Fachgebiet: Siliziumwafer

Verwandte Begriffe

Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD) Segregationskoeffizient

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