Was ist Kristallorientierung?
Die Richtung von Kristallebenen und -achsen, ausgedrückt mit Millerschen Indizes wie (100). Die (100)-Oberfläche ist der Standard für Siliziumwafer für MOSFETs.
Japanische Bezeichnung: 結晶方位
Fachgebiet: Siliziumwafer
Die Richtung von Kristallebenen und -achsen, ausgedrückt mit Millerschen Indizes wie (100). Die (100)-Oberfläche ist der Standard für Siliziumwafer für MOSFETs.
Japanische Bezeichnung: 結晶方位
Fachgebiet: Siliziumwafer
Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD) Segregationskoeffizient