Was ist Segregationskoeffizient?

Verhältnis der Störstellenkonzentration im Kristall zu der in der Schmelze beim Erstarren. Für die meisten Störstellen liegt er unter 1, sodass sie sich in der Schmelze anreichern und der spätere Teil eines CZ-Kristalls mehr Störstellen enthält.

Japanische Bezeichnung: 偏析係数

Fachgebiet: Siliziumwafer

Verwandte Begriffe

Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) Kristallorientierung MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD)

Zurück zum Glossar