Was ist Overlay (Überlagerungsgenauigkeit)?

Genauigkeit, mit der ein neues Muster relativ zu den in früheren Schritten erzeugten Mustern platziert wird. Versatz verursacht Fehler wie verfehlte Kontakte, daher wird er im Nanometerbereich kontrolliert.

Japanische Bezeichnung: オーバーレイ(重ね合わせ精度)