オーバーレイ(重ね合わせ精度)란?

おーばーれい

前の工程でつくったパターンに対して、新しいパターンをどれだけ正確な位置に重ねられるか。ずれるとコンタクトが外れるなどの不良になるため、ナノメートル単位で管理する。

일본어 명칭: オーバーレイ(重ね合わせ精度)