LOCOS란?
ろこす
窒化膜で覆っていない部分だけを厚く酸化して素子間を分離する方法。端に鳥のくちばし状の食い込み(バーズビーク)ができ、現在はSTIに置き換わった。
일본어 명칭: LOCOS
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化
ろこす
窒化膜で覆っていない部分だけを厚く酸化して素子間を分離する方法。端に鳥のくちばし状の食い込み(バーズビーク)ができ、現在はSTIに置き換わった。
일본어 명칭: LOCOS
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化